通过特定波长激光激发指定材料,获得荧光光谱,对荧光光谱进行采集并后处理呈现荧光各项特征。波长覆盖紫外到近红外(200-2500nm),可对2-12寸外延片进行测量。
半自动(手动)PL扫描成像仪IM-1180
自动PL扫描成像仪IM-3600
外延片低温PL测试仪IM-1090
炉盘分析软件