多种解决方案实现多种材料，多层材料的表面薄膜厚度及微区薄膜厚度的自动测量。

不同波长下干涉谱测量膜厚的配置方案

                                        膜厚干涉原理                                                                                白光干涉谱

                                       膜厚测量模块                                                                            显微膜厚测量模块

                                             中红外光源                                                                            中红外光谱仪