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应用案例
晶片膜厚自动测量及分类机


  1、兼容多种材料,多层膜厚测量的解决方案

  2、同质外延膜厚测量解决方案

  3、微区膜厚测量解决方案


1-兼容多种材料,多层膜厚测量的解决方案


2-同质外延膜厚测量解决方案


3-微区膜厚测量解决方案


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